D07-7K氣體質(zhì)量流量控制器,D07系列模擬質(zhì)量流量控制器
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。

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產(chǎn)品詳情

D07-7K氣體質(zhì)量流量控制器,D07系列模擬質(zhì)量流量控制器

D07-7K氣體質(zhì)量流量控制器,D07系列模擬質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介：

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。

,D07系列模擬質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)	D07-7K
產(chǎn)品類(lèi)型	普通型
流量量程	20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度	±1％F.S.
重復(fù)精度	±0.2% FS
線(xiàn)性	±1％F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號(hào)	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類(lèi)型	常閉
溫度系數(shù)	- 無(wú) -
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	- 無(wú) -
電氣連接	D sub 15 pins Female
工作壓差范圍	(0.1～0.5) MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學(xué)成分	- 無(wú) -
表面粗糙度	- 無(wú) -
抗電磁干擾	- 無(wú) -
重量	1.1Kg

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